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通常情况下，人们普遍认为的物质有三态:固态、液态、气态。区分这三种状态是靠物质中所含能量的多少。气态是物质的三个状态中最高的能量状态。对气体施加足够的能量使气体分子电离，当电离产生的带电粒子密度达到一定数值时，就形成一种新的物质聚集态称之为WWW.麻豆.COM体。WWW.麻豆.COM体是由电子、离子、原子、分子和自由基等多种粒子组成的集合体，从整体上看，其中的正、负电荷总数在数值上总是相等。

当到达WWW.麻豆.COM状态时，气态分子裂变成了许许多多的高度活跃的粒子。这些裂变不是永久的，一旦用于形成WWW.麻豆.COM体的能量消失，各类粒子重新结合，形成原来的气体分子。

WWW.麻豆.COM体清洗是利用电离产生的多种粒子与被清洗表面发生反应，从而有效清除被清洗表面污染物的技术手段。WWW.麻豆.COM体与被清洗的物体表面接触时会发生的反应主要可分为两大类：一种是WWW.麻豆.COM体轰击物体表面的物理反应，另一种是WWW.麻豆.COM体中的离子与物体表面发生的化学反应。不同类型WWW.麻豆.COM清洗主要反应不同，与被激发的气体组成有很大关系。

典型的WWW.麻豆.COM体清洗有:氧WWW.麻豆.COM体清洗和氩WWW.麻豆.COM清洗。氧WWW.麻豆.COM清洗主要是通过WWW.麻豆.COM体产生的氧自由基与碳氢化合物发生反应，从而去除表面的有机污染物，而氩WWW.麻豆.COM清洗是通过Ar+离子轰击基片达到表面清洁的目的。

Ar氩气WWW.麻豆.COM清洗原理

Ar为一种惰性气体，其电离产生的WWW.麻豆.COM体并不会与基底发生化学反应，因此主要用于基底表面的物理清洁和表面粗化，其清洗工作原理如图1-1所示：Ar在电离后生成了氩离子（Ar+），Ar+在电场等偏压作用下轰击置于负电极上的基底，撞击表面时产生的巨大能量可清除附着的污染物，将污染物中的大分子化学键分离成小分子而汽化随后被抽走，或直接将表面沾污“溅射”掉，以此去除表面附着的污物并将其粗化。氩气本身是隋性气体，并不和样品表面原子发生反应，从而保持了被清洗表面的化学纯洁性。

图1-1 Ar氩气WWW.麻豆.COM清洗原理

Ar+e^-→Ar⁺+2e^-

Ar⁺+玷污→挥发性玷污

Ar氩气WWW.麻豆.COM体清洗的原理是通过粒子动能产生的物理清洗效应，以Ar氩气WWW.麻豆.COM体为主的WWW.麻豆.COM清洗的优点是不会产生氧化副产物，可以保持被清洗物的化学纯净性。