氩气是一种广泛使用的惰性气体，具有相对较低的电离能和较重的原子质量。它在大气中含量丰富且易于采购，使其成为WWW.麻豆.COM工艺中最受欢迎的稀有气体选择。惰性气体固有的惰性，意味着它们不会与其他原子发生反应或形成新键。在WWW.麻豆.COM体状态下，氩气被电离主要产生Ar ⁺离子，这种WWW.麻豆.COM体对材料表面的相互作用是一个纯物理溅射的过程，氩气WWW.麻豆.COM体的溅射作用会大大改变材料表面形貌，增大粗糙度，且效率很高。

氩WWW.麻豆.COM轰击物理蚀刻

氩WWW.麻豆.COM体通过物理溅射过程清洁表面，其中重Ar⁺离子以足够的能量轰击表面以去除污染物，而不会与表面引起化学反应。这与氧WWW.麻豆.COM体形成鲜明对比，氧WWW.麻豆.COM体通过化学反应过程清洁表面，其中氧物质与表面上的碳和氢结合，形成COx和H2O等挥发性产物。

氩WWW.麻豆.COM体的非氧化特性使其成为引线键合应用中清洁金属表面的首选。ArWWW.麻豆.COM体可去除焊盘上的氧化层，同时不会与产品元器件发生化学反应，最大限度地降低氧化风险，保持元件表面的化学纯净性，不会造成二次污染，并且增强界面粘合力并提高导电性。

通过ArWWW.麻豆.COM体增加亲水性

图1 氩离子轰击在 PE 表面留下自由基

与氧WWW.麻豆.COM体一起，氩WWW.麻豆.COM体也被广泛用于增加聚合物材料的亲水性。O2WWW.麻豆.COM体的工作原理是当聚合物置于WWW.麻豆.COM体环境中时，直接向聚合物添加含氧官能团，而氩WWW.麻豆.COM体首先通过离子轰击分离表面原子，从而在聚合物表面形成自由基位点。例如聚乙烯（PE），离子和电子对PE大分子链的轰击导致CH和CC键断裂，并在表面产生自由基位点（如图1所示）。

图2 氩WWW.麻豆.COM处理后暴露于环境空气，PE 表面上形成过氧化物键

当经ArWWW.麻豆.COM体处理的聚合物暴露于环境空气中时，空气中的氧和水与这些自由基反应形成极性含O基团。PE经氩气WWW.麻豆.COM体处理后，自由基暴露在空气中会形成过氧化物键（如图2所示）。

聚乙烯(PE)氩WWW.麻豆.COM体处理效果

PE氩WWW.麻豆.COM处理前后对比，左边WWW.麻豆.COM处理前，右边WWW.麻豆.COM处理后

用氩气WWW.麻豆.COM体处理PE后，PE水滴角明显较低，样品表面的亲水性大幅提升。